电化离子注入制作硅太阳电池方法的改进

近年来,电化学方法掺杂,除了应用在光电化学电池和电化发光二极管外,也有制作p-n结硅太阳电池的尝试。本工作对电化离子注入方法作了改进。 实验时,以硼酸水溶液为电解液,掺磷的硅片作电化离子注入材料。硅片去污后,用细金钢砂研磨,以减少切割产生的机械损伤,然后再用硝酸、氢氟酸和醋酸的混合液腐蚀,以进一步消除残存在硅片表面层内的微小缺陷。