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| 多晶硅的还原工艺自动控制技术 | |
| 作者单位： | ;1.江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 摘 要： | 首先分析了在多晶硅生产过程中存在的一些问题,接着通过从系统功能的设计出发,然后说明电流的预测模块的重要性,最后,在自动控制技术方面,通过一些程序的设立和改进提高还原工艺的自动化程度,还从安全方面分析了自动控制技术的优点。 |
| 关 键 词： | 对晶硅 还原工艺 自动控制技术 |
Polysilicon Reduction Process Automatic Control Technology |
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