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| BPJ型电视硅片图形缺陷检查仪 | |
| 作者姓名： | 鲁徐青 |
| 摘 要： | <正> 由上海光学仪器确究所设计、研制的BPJ型电视硅片图形缺陷检查仪,于1987年7月通过部级鉴定。该仪器主要用于半导体流水线中检查硅片每道光刻的图形质量。仪器由硅片台和检查显微镜两大部分组成。输片装置上片盒中的硅片逐片自动地送到预定位台,经机械手传送到承片台上,然后进行五点法自动检查(亦可用手动逐点检查),同 |
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