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| CaCl2熔盐中直接电化学还原制备铽-镝-铁合金机制 | |
| 引用本文： | 谢宏伟,王锦霞,金炳勋,翟玉春.CaCl2熔盐中直接电化学还原制备铽-镝-铁合金机制[J].稀有金属材料与工程,2012,41(10):2233-2237. |
| 作者姓名： | 谢宏伟 王锦霞 金炳勋 翟玉春 |
| 作者单位： | 1. 四川大学教育部辐射物理及技术重点实验室,四川成都610064;四川理工学院材料腐蚀与防护四川省重点实验室,四川自贡643000 2. 四川理工学院材料腐蚀与防护四川省重点实验室,四川自贡,643000 3. 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,陕西西安,710049 4. 四川大学教育部辐射物理及技术重点实验室,四川成都,610064 5. 四川大学分析测试中心,四川成都,610064 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，四川省科技支撑计划基金，教育部新世纪人才基金，金属材料强度国家重点实验室开放基金 |
| 摘 要： | 提出了一种梯度氮化法制备出低阻、高稳定性的a-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层.该方法有效地避免了异质元素的引入和高N含量导致的高电阻率.用四点探针(FPP)、X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)进行薄膜电性能和结构的表征.分析结果表明,梯度氮化工艺能调控金属Ta膜的相结构和金属Ta中的N原子浓度,从而获得低阻a-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层结构.600℃高温老化退火的实验结果进一步证明此结构具有高的热稳定性. |
| 关 键 词： | 扩散阻挡层 电阻率 热稳定性 微结构 |
| 收稿时间： | 2011/12/1 0:00:00 |
Mechanism of Direct Electrochemical Reduction of Tb-Dy-Fe Alloys in Molten Calcium Chloride |
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| Xie Hongwei,Wang Jinxi,Kim Pyonghun and Zhai Yuchun.Mechanism of Direct Electrochemical Reduction of Tb-Dy-Fe Alloys in Molten Calcium Chloride[J].Rare Metal Materials and Engineering,2012,41(10):2233-2237. | |
| Authors: | Xie Hongwei Wang Jinxi Kim Pyonghun and Zhai Yuchun |
| Affiliation: | Key Laboratory of Radiation Physics and Technology, Ministry of Education, Sichuan University, Chengdu 610064, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | diffusion barrier resistivity thermal stability microstructure |
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