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| 力学参数测量时由残余电荷导致的误差分析 | |
| 作者姓名： | 姜岩峰 黄庆安 |
| 摘 要： | 分析了用静电牵引法测量悬臂梁结构力学参数时,由于绝缘层中残余电荷的存在,对测试结果带来的影响;并提出了利用C-V特性曲线确定残余电荷数量的方法,将求出的残余电荷数量从静电力的角度进行等效,从而求出考虑残余电荷后带来的阈值电压测试误差.该分析方法既适于提高悬臂梁、桥等用来测量力学参数的精度,也适于对静电执行器等的精确分析. |
| 关 键 词： | 悬臂梁 残余电荷 阈值电压 |
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