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一代前景诱人的新型器件——真空微电子管
引用本文:苏世民.一代前景诱人的新型器件——真空微电子管[J].微纳电子技术,1998(5).
作者姓名:苏世民
作者单位:电子工业部第十三研究所
摘    要:描述了真空微电子器件的发展概况,特别对场发射阵列的结构设计进展、微波用场发射阵列研究、低压场发射阵列研究以及场发射平板显示器的现状进行了全面阐述。

关 键 词:真空微电子管  场发射阵列  场发射显示器

New Generation of Promising Device: Vacuum Microelectronic Device
Su Shimin.New Generation of Promising Device: Vacuum Microelectronic Device[J].Micronanoelectronic Technology,1998(5).
Authors:Su Shimin
Abstract:In this paper,the general introduction of vacuum microelectronic device deve lopment is given.The emphasis is laid on the structure design progress of field emission array,investigations of field emission array for microwave and low voltage field emission array,as well as the current status of field emission panel display.
Keywords:Vacuum microelectronic device  Field emission array  Field emission display
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