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中国分子束外延技术的发展

作者姓名：	孔梅影

作者单位：	中国科学院半导体所北京

摘要：	本文评述了我国自70年代中期开始分子束外延(MBE)研究以来的MBE设备、材料及器件应用的发展和现状。
关键词：	分子束外延超晶格量子阱半导体掺杂异质结
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