| 类金刚石磁盘保护膜的性能、应用与制备 |
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| 引用本文： | 丁万昱,高鹏,邓新绿,董闯,徐军. 类金刚石磁盘保护膜的性能、应用与制备[J]. 真空科学与技术学报, 2005, 25(1): 41-46,49 |
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| 作者姓名： | 丁万昱 高鹏 邓新绿 董闯 徐军 |
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| 作者单位： | 三束材料表面改性国家重点实验室,大连理工大学,大连,116024 |
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| 摘 要： | 类金刚石膜在磁盘和读写磁头之上形成一层关键的保护膜.磁存储密度的飞速发展可以使存储密度上限达到1万亿字节/英寸2.这要求读写磁头距离磁盘更近,即需要一层仅1 nm～2 nm厚的类金刚石薄膜.四面体结构的非晶碳膜能够满足磁存储技术的要求,即形成原子尺度平滑、连续、致密,只有几个原子层厚的碳膜.磁过滤阴极弧方法、等离子体增强化学气相沉积方法可用来制备符合要求的超薄碳膜.
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| 关 键 词： | 类金刚石 磁盘 磁过滤弧 等离子体增强化学气相沉积 |
| 文章编号： | 1672-7126(2005)01-0041-06 |
Development of Diamond-Like Carbon Coating Technology for Magnetic Storage Disk |
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| Ding Wanyu,Gao Peng,Deng Xinlu,DONG Chuang,Xu Jun. Development of Diamond-Like Carbon Coating Technology for Magnetic Storage Disk[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2005, 25(1): 41-46,49 |
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| Authors: | Ding Wanyu Gao Peng Deng Xinlu DONG Chuang Xu Jun |
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| Abstract: | Latest development of diamond-like carbon coating technology for magnetic storage disk is reviewed with discussion focused on the ultra-thin film growth techniques and its characterization. |
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| Keywords: | Diamond-like carbon(DLC) Magnetic storage disk FCVA PECVD |
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