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| 晶体材料纳米切削加工机理的研究 | |
| 作者姓名： | 郭永博 梁迎春 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学; |
| 摘 要： | 正纳米加工技术已成为国家科学技术发展水平的重要标志,国防战略发展和纳米级高精度、高质量、低损伤尖端产品的迫切需求,促进了纳米加工技术的快速发展。在纳米尺度,理解材料的变形、去除机理对于加工高质量的微纳器件至关重要,多晶材料作为制造微纳器件的主体,具有晶粒尺寸较小、大比例晶界和缺陷结构极少的特征,但目前对于多晶材料的去除机理仍缺乏研究基础和理论依据。纳米加工实验由于研究对象尺寸达到纳米量级,存在加工过程中材料的组织结构变化及缺陷演化难以动态观测和控制,可重复性差等问题,使之难以获得满意结果。从而科学计算和计算机仿真技术成为研究纳米加工 |
| 关 键 词： | 多晶材料 纳米加工技术 加工机理 纳米切削 加工过程 晶体材料 高质量 缺陷结构 晶粒尺寸 去除机理 |
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