文摘

《Optical Engineering》Vol.36,No.1—3,1997主要文章摘要1.用于极紫外波段的化学蒸镀光学膜SiC反射镜(No.1,1997)光学镀膜和材料技术的进展提高了工作在极紫外波段的仪器效率。化学蒸镀SiC反射镜使正入射光学仪器的波长降到60nm。用化学蒸镀SiC的方法,容易抛光成超光滑表面。由于超光滑表面具有很低的散射率,很高的反射率和良好的机械和热特性,因此,此种材料和镀膜方法在极紫外波段应用中受到关注。本文对SiC硅反射镜在极紫外波段性能、强度及问题作了详细论述。