微机电系统的进展分析与研究

系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统，微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺，以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用。介绍了我国在发展微机电系统所做的努力。提出我国必须走研究与应用并重的道路，使微机电系统的研究走向产业化，才能为我国在微电子工业的第二轮国际竞争中争取到应有地位。