位移传感器可以自补偿空气折射率

位移传感器可以自补偿空气折射率位移干涉仪面对的问题之一是测量通道上空气折射率的变化。当温度、压力和湿度发生变化时，基准单位长度也随之变化。瑞士电子和微型技术中心已研制成单块干涉位移传感器，它能自补偿空气折射率的起伏。在工业环境中位移干涉仪有个技术问题...