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硅PIN光电探测器

作者单位：	二室二0一组

摘要：	利用成熟的半导体平面工艺,采用高阻硅(Si)单晶,我们已成功地制造了四种光电探测器。1.单个的 Si—PIN 光电二极管2.Si 象限探测器3.Si 光电压探测器4.其它光电二极管列阵
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