| 氢氦离子注入机的研制 |
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| 引用本文： | 陈立华,崔保群,马瑞刚,郑永男,姜冲,马鹰俊,黄青华,蒋渭生. 氢氦离子注入机的研制[J]. 核技术, 2010, 33(12) |
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| 作者姓名： | 陈立华 崔保群 马瑞刚 郑永男 姜冲 马鹰俊 黄青华 蒋渭生 |
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| 基金项目： | 973项目--ADS资助 |
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| 摘 要： | 本文介绍了正研制的氢氦离子注入机的结构和各部分的主要性能指标。它的最高能量为200 keV,可按一定比例同时用氢氦两种离子进行注入实验。该机经调试,各项主要指标已达设计要求,工作稳定可靠。
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| 关 键 词： | 离子注入机 透镜 离子源 质谱 |
A 200 keV H2+/He+ ion implanter |
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| CHEN Lihua,CUI Baoqun,MA Ruigang,ZHENG Yongnan,JIANG Chang,MA Yingjun,HUANG Qinghua,JIANG Weisheng. A 200 keV H2+/He+ ion implanter[J]. Nuclear Techniques, 2010, 33(12) |
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| Authors: | CHEN Lihua CUI Baoqun MA Ruigang ZHENG Yongnan JIANG Chang MA Yingjun HUANG Qinghua JIANG Weisheng |
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