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| SOI阵列波导光栅的设计与制作 | |
| 引用本文： | 方青,邱海军,李芳 刘育梁.SOI阵列波导光栅的设计与制作[J].光电子．激光,2004,15(Z1):218-220. |
| 作者姓名： | 方青 邱海军 李芳 刘育梁 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
| 基金项目： | 本项目得到国家自然科学基金项目(编号90104003)基金资助 |
| 摘 要： | 本文讲述了基于SOI材料的5×5阵列波导光栅(AWG)的设计与器件的制作.设计结果显示,通过选择合适的波导结构可以有效地减小器件的偏振特性;采用合适的弯曲半径,不但可以减小器件的损耗,而且可以降低器件的串扰.器件的测试结果表明,器件的中心波长、通道间隔与设计值基本相符;器件的相邻信导串扰接近10dB.器件初步达到分波的功能. |
| 关 键 词： | SOI材料 阵列波导光栅(AWG) 信道间隔 中心波长 相邻信道串扰 |
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