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| 接触式干涉仪技术改造 | |
| 作者姓名： | 何学军 张志权 |
| 作者单位： | 中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095;中国一航北京长城计量测试技术研究所,北京,100095 |
| 摘 要： | 介绍了一种接触式干涉仪数字化改造的方法.改造后的接触式干涉仪采用高精度电感式位移传感器采集数据,由计算机直接输出测量报告;减少了人为的读数误差和对线误差,具有测量精度高、测量速度快、操作简单易掌握等优点. |
| 关 键 词： | 接触式干涉仪 电感式位移传感器 计算机 高精度 |
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