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| 金属氧化物掺杂对TiO2气敏特性的影响 | |
| 作者姓名： | 戴振清 孙以材 潘国峰 李国玉 陈志永 张艳辉 赵建立 |
| 作者单位： | 河北工业大学微电子研究所，河北工业大学微电子研究所 |
| 摘 要： | 掺杂金属氧化物可显著提高TiO2的气敏这一特性，正逐渐成为研究的热点。本文综述了掺杂金属氧化物对TiO2气敏特性的主要影响及机理；总结了目前研究中所掺杂的十多种金属氧化物，并就各种掺杂物对TiO2气敏特性的作用进行了具体分析。 |
| 关 键 词： | 金属氧化物 掺杂 TiO2 气敏特性 气敏传感器 |
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