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| 极大规模集成电路工艺用配套超净纯试剂的研制和产业化开发 | |
| 引用本文： | 詹家荣.极大规模集成电路工艺用配套超净纯试剂的研制和产业化开发[J].化学试剂,2009,31(1). |
| 作者姓名： | 詹家荣 |
| 作者单位： | 上海华谊微电子材料有限公司 |
| 摘 要： | 进入21世纪,世界全面进入了信息化时代,信息产业已成为世界经济中规模最大、发展最为迅速的产业,我国政府已把信息产业作为一个重要的支柱产业.半导体集成电路产业是现代信息产业和信息社会的基础,而大规模集成电路设计制造业更是信息产业的先导和基石,是计算机和通讯设备信息家电的心脏,其影响面广,产业链长. |
| 关 键 词： | 极大规模集成电路工艺 超净纯试剂 研制 产业化 开发 |
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