| MEMS技术用于红外器件制作 |
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| 引用本文： | 李兰,刘铮,邹德恕,沈光地. MEMS技术用于红外器件制作[J]. 激光与红外, 2003, 33(3): 212-214 |
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| 作者姓名： | 李兰 刘铮 邹德恕 沈光地 |
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| 作者单位： | 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022 |
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| 摘 要： | MEMS技术是一项新兴的微细加工技术，已开始在各领域有了广泛应用。它可将信息获取、处理和执行等功能集成为一体化的微电子机械系统(MEMS)或微光电子机械系统(MO-EMS)，具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点，因此也开始被红外技术领域所采用，为该领域研究提供了一条新途径。文中简要介绍了MEMS技术的主要特点和工艺，并对MEMS技术在红外器件研制方面的应用作了详细叙述。
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| 关 键 词： | MEMS MOEMS 红外器件 IR光源 微细加工技术 微电子机械系统 焦平面阵列 |
| 文章编号： | 1001-5078(2003)03-0212-03 |
| 修稿时间： | 2002-11-04 |
Application of MEMS Technology to Infrared Devices Fabrication |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS MOEMS infrared devices IR-sources. |
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