| Sm-Fe系薄膜悬臂板磁致伸缩行为的有限元模拟分析 |
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| 引用本文： | 周白杨,陈梓荣,骆汉彬,毛宏英,李牣. Sm-Fe系薄膜悬臂板磁致伸缩行为的有限元模拟分析[J]. 中国有色金属学报, 2009, 19(10) |
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| 作者姓名： | 周白杨 陈梓荣 骆汉彬 毛宏英 李牣 |
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| 作者单位： | 福州大学,材料科学与工程学院,福州,350108 |
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| 基金项目： | 福建省科技厅资助高校项目(2007F5065):福建省科技厅高新技术与火炬计划资助项目(99.H.44):福州大学开放测试基金资助项目 |
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| 摘 要： | 以离子束溅射沉积(IBSD)法制备的Sm-Fe系超磁致伸缩薄膜悬臂板为研究对象,通过ANSYS有限元分析法,对超磁致伸缩薄膜/盖玻片衬底悬臂板自由端挠度值的大小进行模拟计算,并模拟Sm-Fe薄膜、Sm-Fe/Fe复合膜的内部磁化状态.结果表明:在薄膜与衬底厚度比较小的情况下,悬臂板端点挠度值随薄膜厚度的增加而线性增加,且与衬底厚度近似成二次抛物线关系,有限元分析结果与实测情况吻合较好;Sm-Fe单层膜内部磁力线分布较均匀;在Sm-Fe/Fe复合膜中,由于Fe膜的负磁场效应,使Sm-Fe膜内的磁力线分布出现不均匀的现象,且磁感应强度比Sm-Fe单层膜小.
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| 关 键 词： | Sm-Fe薄膜 离子束溅射 有限元 磁致伸缩 |
Finite element modeling of magnetostrictive behavior for Sm-Fe system film cantilever |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sm-Fe film ion beam sputtering finite element magnetostrictive |
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