基于分离重叠谱峰的在线过程质谱气体定量分析方法

在线定量分析工业生产过程的反应气体或尾气，获知各组分气体含量，有助于及时调整生产工艺、提高产品质量，对相关工业的转型升级有着重要的意义。但受工业生产成本的影响，价格高昂的高分辨率质谱仪在工业在线定量分析中的应用相对局限，而采用低分辨率质谱仪检测出的带有重叠谱峰的质谱图可能会对反应气体或尾气的准确定量造成困难。虽然现有的在线定量分析方法较为成熟，但在定量准确度、方法适用性以及设备复杂性方面仍存在优化空间。为实现更准确且高效的在线定量分析，本研究提出了采用在线过程质谱仪对反应气体或尾气进行检测并分离重叠谱峰的定量分析方法。首先，根据工业生产场景精确预估待测反应气体或尾气的各组分气体及其含量，获得预测矩阵并配制校正标气。其次，通过查找各组分气体的标准质谱图，获得校正标气的所有重叠谱峰，根据各组分气体的主峰与重叠谱峰之间的关系构造最简单的比值矩阵，并配制与相关组分气体含量相同的比值标气修正比值矩阵。然后，利用质谱仪测量校正标气获得校正矩阵，并与预测矩阵和比值矩阵构建校正数学模型求得相对灵敏度矩阵。最后，根据计算出的相对灵敏度矩阵、修正后的比值矩阵与测算待测反应气体或尾气后获得的检测矩阵一同构建...