石英谐振加速度计低温漂结构设计及温度补偿 |
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引用本文: | 杨敏,陈福彬,朱嘉林,田文杰.石英谐振加速度计低温漂结构设计及温度补偿[J].压电与声光,2023(5):719-722+730. |
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作者姓名: | 杨敏 陈福彬 朱嘉林 田文杰 |
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作者单位: | 1. 北京信息科技大学传感器重点实验室;2. 北京信息科技大学自动化学院 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(61871043);;北京市教委科技计划重点项目(KZ201911232023); |
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摘 要: | 温度影响加速度计的性能,误差来源主要由石英材料及封装工艺产生的热应力引起。针对加速度计温度漂移现象,该文介绍了集成式石英谐振加速度计低温漂结构设计和补偿方法。首先通过对称的差分结构消除一阶温度系数,并进行工艺优化,降低封装工艺对谐振器产生的热应力;其次采用随机森林拟合算法建立温度模型来补偿加速度计的温漂。在-20~80℃温度范围内对加速度计样机进行温漂测试,结果表明,工艺优化及补偿后的样机偏置稳定性提高了一个数量级。
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关 键 词: | 谐振式加速度计 差频 温度补偿 低温漂 随机森林 |
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