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| 梯度凝固法晶体生长应用磁场的研究进展 | |
| 引用本文： | 赵兴凯,韦华,叶晓达,王顺金,韩家贤,柳廷龙.梯度凝固法晶体生长应用磁场的研究进展[J].云南化工,2023(4):15-20. |
| 作者姓名： | 赵兴凯 韦华 叶晓达 王顺金 韩家贤 柳廷龙 |
| 作者单位： | 云南鑫耀半导体材料有限公司 |
| 摘 要： | 在梯度凝固法晶体生长中应用磁场可以有效提高溶质分布的均匀性，改善生长界面的形貌。主要综述了在VGF法或VB法晶体生长中应用磁场的研究进展，包括行波磁场、旋转磁场和交变磁场的产生原理，以及三种磁场在熔体中形成的对流模式和对晶体生长的影响。提出了三种磁场各自的优势和在实际晶体生产上的应用前景。 |
| 关 键 词： | 磁场垂直温度梯度 垂直布里奇曼 晶体生长 熔体对流 生长界面形貌 溶质分布 |