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| CoMnNi氧化物薄膜的电阻温度特性 | |
| 作者姓名： | 谭辉 陶明德 韩英 |
| 作者单位： | 中国科学院新疆物理所，中国科学院新疆物理所，中国科学院新疆物理所 |
| 摘 要： | 本文报导射频溅射CoMnNi多成分氧化物薄膜的电阻温度特性,并给出薄膜电阻率与溅射气氛中O_2含量和沉积时间的关系;讨论这种薄膜的退火特性。 |
| 关 键 词： | 氧化物 薄膜 电阻温度 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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