| 微小型高压力流体电磁控制阀 |
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| 引用本文： | 范瑞丽,李勇,陈旭鹏,叶雄英,周兆英. 微小型高压力流体电磁控制阀[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 452-455,460 |
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| 作者姓名： | 范瑞丽 李勇 陈旭鹏 叶雄英 周兆英 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | "973"项目"微米尺度流体输运相关问题研究"(G1999033106)资助项目;"863"项目"微执行器研究"(2002AA404290)资助项目 |
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| 摘 要： | 用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能。本文提出了一种可控高压力微流体的常闭微小型阀的设计方案用于满足该系统需要,其特点在于采用以较小的致动力控制较高的流体压力的结构原理,并以弹性材料薄膜作为阀芯的支承结构件同时作为密封件。该阀由其本体结构和外置致动器两部分构成,其本体结构的设计在制作工艺上适合进一步的微小型化,外置致动器的设计具有较大灵活性。初步研制了采用电磁致动的小型常闭阀样机既可控气体又可控液体的特性。实验测试其工作压力范围为0～5atm,阀的驱动响应时间小于5ms,流量控制分辨率达到9μL／pulse,无泄露。
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| 关 键 词： | 电磁控制阀 微小型阀 微流体控制系统 工作性能 流体压力 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0452-04 |
An electromagnetically actuated miniature valve for high pressure control |
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