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| 基于图像配准的扫描电镜图像误差校正 | |
| 作者单位： | ;1.福州大学机械工程及自动化学院 |
| 摘 要： | 扫描电子显微镜(SEM)是表征纳米材料和纳米结构的重要测量仪器。扫描电镜在环境的影响下会产生图像失真,尤其在微纳尺度范围内会产生较大的测量误差。为了修正SEM图像的测量误差,提出基于图像配准的图像误差校正方法。该方法采用基于特征属性的图像配准技术,通过加速稳健特征算法提取图像特征点并构造描述矢量,建立失真图像的空间变换模型,从而恢复样品的真实图像。实验证明该方法能够有效地校正扫描电镜图像,提高样品形貌观测的准确性和精度。 |
| 关 键 词： | 扫描电镜 观测精度 图像配准 SURF算法 误差校正 |
Distortion Elimination for Scanning Electron Microscope Images Based on Image Registration |
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