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| 基于MS3110的微电容读出电路设计 | |
| 作者单位： | ;1.南京理工大学机械工程学院 |
| 摘 要： | 电容式MEMS加速度计是MEMS加速度计的一种主要的形式。通过对MS3110的应用研究,了解其使用性能和参数设置方法,在此基础上将该芯片用作电容式MEMS加速度计的电容输出接口,实现对该类传感器的高分辨率微电容检测。实验结果表明,设计的基于MS3110的微电容读出电路有良好的稳定性和线性度。 |
| 关 键 词： | 微电容读出电路 MS3110 ADS1255 AVR单片机 |
Design of Micro-capacitor Readout Circuit Based on MS3110 |
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