|
|||||
|
|
| 微悬臂梁长度对梁末端与底座粗糙面间接触的影响 | |
| 作者单位： | ;1.福州大学机械工程及自动化学院 |
| 摘 要： | 将磁致伸缩效应等效为材料的热膨胀效应,考虑微梁末端与底座粗糙面微凸体间的相互作用、材料弹塑性变形及微梁弹性恢复力等影响,利用ABAQUS动态模拟了磁致伸缩薄膜悬臂梁末端与底座粗糙面间的接触,分析了不同长度悬臂梁对接触特性的影响。结果表明,重复加卸载过程中,接触面积、法向接触力随着微梁长度的增加呈近似线性增长,而最大等效塑性应变值随微梁长度的增加呈非线性关系,说明微梁长度对梁与底座粗糙面间接触特性的影响十分重要,进而影响到系统工作的可靠性。 |
| 关 键 词： | MEMS器件 磁致伸缩薄膜微悬臂梁 粗糙面 微梁长度 接触特性 |
Impact of Micro-cantilever Length on Beam End and Base Contact |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |