| MgO/SrTiO_3(001)生长初期的各向异性晶格畸变 |
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| 引用本文： | 魏贤华,崔传伟,张鹰,朱俊.MgO/SrTiO_3(001)生长初期的各向异性晶格畸变[J].真空科学与技术学报,2010,30(5). |
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| 作者姓名： | 魏贤华 崔传伟 张鹰 朱俊 |
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| 作者单位： | 1. 西南科技大学材料科学与工程学院,绵阳,621010
2. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054 |
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| 摘 要： | 通过原位的反射高能电子衍射,监测并测量了MgO/SrTiO3(001)岛状生长初期过程中的面内、面外晶格常数的演变。薄膜的面内晶格在一开始生长时就发生弛豫,且大多数应变在2 nm厚度左右被释放并几乎保持稳定,而面外的晶格应变弛豫一直持续进行。这种应变的各项异性被认为与薄膜的织构导致的应变能变化有关。
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| 关 键 词： | 反射高能电子衍射 晶格 各向异性 应变 织构 |
Anisotropic Lattice Strain of MgO/SrTiO3 (001) Film in Initial Growth Stage |
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| Wei Xianhua,Cui Chuanwei,Zhang Ying,Zhu Jun.Anisotropic Lattice Strain of MgO/SrTiO3 (001) Film in Initial Growth Stage[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2010,30(5). |
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| Authors: | Wei Xianhua Cui Chuanwei Zhang Ying Zhu Jun |
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