锥形表面反射波前干涉术

在高能激光器设计中,提出采用新的先进的光学元件。具有典型代表的元件有锥面、反射式轴向镜(refaxicon)和W形锥镜(waxicon)。这些光学元件不属空间不变(等晕)光学系统,因为径向曲率半径以及径向的光学能量随入射到光学表面的光线高度而变化。这些光学元件的非线性特性不可能用典型的线性等晕光学系统理论来论述。这些元件的非线性特性要求对干涉术进行待殊的考虑。通常用三种干涉仪作表面干涉测量仪,即合曼—格林干涉仪、剪切干涉仪和斐索干涉仪。除剪切干涉仪外,所有的干涉仪都要求高质量输入波前和高质量参考表面,用多次曝光干涉图和三个近于相同的参考面.表面测量量可能达到的精度约为λ/100。