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光波导加速度传感器中3dB耦合器设计
引用本文:李东,王金海尉春华.光波导加速度传感器中3dB耦合器设计[J].传感器与微系统,2014(4):99-101.
作者姓名:李东  王金海尉春华
作者单位:天津工业大学电子与信息工程学院,天津300387
基金项目:天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(08JCYBJC14700)
摘    要:光波导加速度传感器是一种实用型加速度传感器,目前广泛应用制备光学加速度计的迈克尔逊、马赫—曾德等干涉仪的核心部件都包含3 dB耦合器。3 dB耦合器的设计对光波导加速度传感器的检测精度尤为重要。介绍了所设计的光波导加速度传感器的工作原理,设计了3 dB耦合器波导的结构和参数,并用光学模拟软件OptiBPM对3 dB耦合器进行模拟。结果表明:所设计的3dB耦合器具有良好性能,符合设计要求。

关 键 词:光波导传感器  dB耦合器  光束传播法

Design of 3dB coupler in optical waveguide acceleration sensor
LI Dong,WANG Jin-hai,WEI Chun-hua.Design of 3dB coupler in optical waveguide acceleration sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2014(4):99-101.
Authors:LI Dong  WANG Jin-hai  WEI Chun-hua
Affiliation:1.School of Electronics and Information Engineering, Tianjin Polytechnic University,Tianjin 300387, China;)
Abstract:The optical waveguide acceleration sensor is a practical acceleration sensor,core components of widely used interferometer,such as Michelson,Mach-Zehnder interferometer,etc,to fabricate optical accelerometer,contain 3 dB coupler.The design of 3dB coupler is particularly important for detection precision of acceleration sensor.The working principle of optical waveguide acceleration sensor is described,and structure and parameters of 3 dB coupler are designed,and the software OptiBPM is used to simulate the 3 D coupler.The results show that the designed 3 dB coupler has good performance,and meets the design requirements.
Keywords:optical waveguide sensor  3 dB coupler  BPM
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