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Röntgenographische Eigenspannungsermittlung am Beispiel von PVD‐Multilayer‐Beschichtungen |
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| Authors: | W. Tillmann U. Selvadurai‐Laßl E. Vogli G. Fischer F. Hoffmann |
| Affiliation: | Lehrstuhl für Werkstofftechnologie, Technische Universit?t Dortmund, Leonhard‐Euler‐Str. 2, 44227 Dortmund |
| Abstract: | |
| Keywords: | PVD‐Schichten Multilayer Rö ntgenbeugung Eigenspannung Verschleiß PVD‐layer multilayers X‐ray diffraction residual stresses wear |