JS—3型精缩照象机电控原理

JS—3型精缩机是在JS—2精缩机成功地应用了光栅定位的基础上,为适应中、大规模象成电路制版需要而研制的。它保持了Ⅱ型机的基本方案,但在整机功能上除了可以进行固定程序拍版,还增加了选择程序拍版功能。这样可以为自动光刻制作对位标记、拼图、制备异图掩膜版等等。并采用了行进式曝光,大大地提高了制版效率。