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用氟化氩(ArE)激光的脉冲光束在不同衬垫温度下沉积时,对磷酸钙膜层生长的影响
作者姓名:付春华
摘    要:

关 键 词:氟化氩 激光 脉冲光束 衬垫温度 沉积 磷酸钙 膜层生长
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