| 图形发生器单元圆生成算法及填充策略 |
| |
| 引用本文： | 商涛,薛虹.图形发生器单元圆生成算法及填充策略[J].微细加工技术,2003(2):6-11. |
| |
| 作者姓名： | 商涛 薛虹 |
| |
| 作者单位： | 中科院电工所微纳电加工研究部，北京 100080 |
| |
| 摘 要： | 随着微电子技术的发展，某些特殊器件如集成光栅的生产，需要进行圆弧图形的曝光。在Bresenham算法的基础上，提出了一种圆生成算法及填充策略。该方法通过设置决策函数和迭代增量，判断最接近圆函数曲线的象素点，从而得到和圆函数图形逼近较好的曲线图形。这种算法应用于以DSP芯片为基础的电子束曝光机图形发生器上，可以快速又较好地得出圆图形单元的各象素点，输出信号至D／A，通过信号转换控制偏转放大器绘制图形。此算法适于硬件完成，简化了数据处理过程，并提高了图形绘制速度和图形精度。
|
| 关 键 词： | 图形算法 图形发生器 DSP 电子束曝光 象素点 圆生成 填充策略 集成光栅 |
| 文章编号： | 1003-8213(2003)02-0006-06 |
Circle-generating Algorithm and Filling Strategy for Pattern Generator |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | primitive algorithm pattern generator DSP electron beam lithography |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
