图形发生器单元圆生成算法及填充策略 |
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引用本文: | 商涛,薛虹. 图形发生器单元圆生成算法及填充策略[J]. 微细加工技术, 2003, 0(2): 6-11 |
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作者姓名: | 商涛 薛虹 |
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作者单位: | 中科院电工所微纳电加工研究部,北京 100080 |
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摘 要: | 随着微电子技术的发展,某些特殊器件如集成光栅的生产,需要进行圆弧图形的曝光。在Bresenham算法的基础上,提出了一种圆生成算法及填充策略。该方法通过设置决策函数和迭代增量,判断最接近圆函数曲线的象素点,从而得到和圆函数图形逼近较好的曲线图形。这种算法应用于以DSP芯片为基础的电子束曝光机图形发生器上,可以快速又较好地得出圆图形单元的各象素点,输出信号至D/A,通过信号转换控制偏转放大器绘制图形。此算法适于硬件完成,简化了数据处理过程,并提高了图形绘制速度和图形精度。
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关 键 词: | 图形算法 图形发生器 DSP 电子束曝光 象素点 圆生成 填充策略 集成光栅 |
文章编号: | 1003-8213(2003)02-0006-06 |
Circle-generating Algorithm and Filling Strategy for Pattern Generator |
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Abstract: | |
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Keywords: | primitive algorithm pattern generator DSP electron beam lithography |
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