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应变量子阱传输矩阵法设计及MOCVD外延制备
引用本文:盖红星,邓军,李建军,韩军,俞波,牛南辉,沈光地,陈建新. 应变量子阱传输矩阵法设计及MOCVD外延制备[J]. 固体电子学研究与进展, 2004, 24(4): 525-528,553
作者姓名:盖红星  邓军  李建军  韩军  俞波  牛南辉  沈光地  陈建新
作者单位:北京工业大学电控学院光电子技术实验室,北京,100022;北京工业大学电控学院光电子技术实验室,北京,100022;北京工业大学电控学院光电子技术实验室,北京,100022;北京工业大学电控学院光电子技术实验室,北京,100022;北京工业大学电控学院光电子技术实验室,北京,100022;北京工业大学电控学院光电子技术实验室,北京,100022;北京工业大学电控学院光电子技术实验室,北京,100022;北京工业大学电控学院光电子技术实验室,北京,100022
基金项目:国家自然科学基金资助项目(批准号:60276033),国家“863”高技术计划资助项目(批准号:2002AA312070),国家“973”计划资助项目(批准号:G2000068302)
摘    要:借鉴光波导设计的传输矩阵法思想 ,引入传输矩阵方法进行量子阱设计的应用 ,以 980nm半导体激光器用的应变量子阱为例 ,利用MOCVD外延生长技术设计生长了InGaAs/GaAs应变量子阱结构 ,测量PL谱峰值波长与设计波长吻合 ,X双晶衍射仪标定的量子阱组分和厚度基本与设计一致 ,从而验证了传输矩阵法用于量子阱设计是一种有效快捷的方法。

关 键 词:量子阱  传输矩阵法  半导体激光器
文章编号:1000-3819(2004)04-525-04

Quantum Well Design Using Transmission Matrix Method and Grown by MOCVD
GAI Hongxing DENG Jun LI Jianjun HAN Jun YU Bo NIU Nanhui SHEN Guangdi CHEN Jianxin. Quantum Well Design Using Transmission Matrix Method and Grown by MOCVD[J]. Research & Progress of Solid State Electronics, 2004, 24(4): 525-528,553
Authors:GAI Hongxing DENG Jun LI Jianjun HAN Jun YU Bo NIU Nanhui SHEN Guangdi CHEN Jianxin
Abstract:Transmission matrix method was extensively used to design optical waveguide, because the Schrodinger equation and the Helmholtz equation have the similar form, so that the transmission matrix method could be used to design the quantum well structure. In the present paper, the transmission matrix method was introduced and as a example used to design an InGaAs/GaAs strain quantum well which is the core component of the 980 nm semiconductor laser. The strain quantum well was grown by MOCVD. The results of PL and X-ray verify that the transmission matrix method is one kind of accurate and prompt method for the quantum well design.
Keywords:quantum well  transmission matrix method  semiconductor lasers
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