| 光栅位移测量系统的误差自修正方法研究 |
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| 引用本文： | 江晓军,黄立华,黄惠杰,王向朝.光栅位移测量系统的误差自修正方法研究[J].计量学报,2008,29(4):309-312. |
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| 作者姓名： | 江晓军 黄立华 黄惠杰 王向朝 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100049
2. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 摘 要： | 文中介绍的误差自修正方法是通过光栅位移测量系统中单片机对光栅传感器的多个零位信号进行计数,并根据测量值和系统设定值得到的误差函数自动进行误差修正.实验结果表明,该方法对光栅位移测量系统的误差既可自动进行有效的修正,又可提高系统的测量精度.
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| 关 键 词： | 计量学 光栅传感器 位移测量 误差修正 |
An Automatic Error Correction Method for Grating Displacement Measurement System |
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| JIANG Xiao-jun,HUANG Li-hua,HUANG Hui-jie,WANG Xiang-zhao.An Automatic Error Correction Method for Grating Displacement Measurement System[J].Acta Metrologica Sinica,2008,29(4):309-312. |
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| Authors: | JIANG Xiao-jun HUANG Li-hua HUANG Hui-jie WANG Xiang-zhao |
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