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| 活化法测量溅射Au原子的各向异性 | |
| 引用本文： | 陶振兰,郑里平,王功庆,张衡山,张阿虎.活化法测量溅射Au原子的各向异性[J].核技术,1985(6). |
| 作者姓名： | 陶振兰 郑里平 王功庆 张衡山 张阿虎 |
| 作者单位： | 中国科学院上海原子核研究所 (陶振兰，郑里平，王功庆)，上海半导体器件研究所 (张衡山)，上海半导体器件研究所(张阿虎) |
| 摘 要： | 用能量为60keV的Ar~+束轰击纯度为99.999％的多晶Au靶。Ar~+束入射方向与靶面方向夹角为60°。为了测量被溅射的Au原子的角分布,设计了一种封闭式的捕集器,利用薄碳膜作为收集膜,收集入射平面内的溅射原子。然后把收集膜与标准样品Au箔叠加在一起,经中子发生器的14MeV快中子在同一几何下辐照后,用Ge(Li)γ谱仪、多道分析器和电子计算机 |
| 关 键 词： | 各向异性 溅射 |
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