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硬质合金表面Mo离子注入对CVD金刚石涂层形成的影响
引用本文:陈靖,王小平,李运钧,姚宁,马会中,张兵临.硬质合金表面Mo离子注入对CVD金刚石涂层形成的影响[J].材料导报,2000,14(5):57-59.
作者姓名:陈靖  王小平  李运钧  姚宁  马会中  张兵临
作者单位:1. 郑州大学物理工程学院,郑州,450052
2. 郑州大学物理工程学院,郑州,450052;郑州航空工业管理学院应用科学系,郑州,450005
3. 郑州大学物理工程学院,郑州,450052;郑州工业大学数理系,郑州,450002
摘    要:采用离子注入工艺对YG6硬质合金表面进行处理,探讨了离子注入处理对硬质合金CVD金刚石涂层形成的影响。研究结果表明,Mo离子注入使硬质合金表面细化,金刚石涂层的粒度减小,改善了金刚石薄膜与合金衬底间的附着力。

关 键 词:钼离子注入  硬质合金  CVD金刚石薄膜  表面处理

Influence of Mo Ion-implantation on Surface of Cemented Carbide on Formation of CVD Diamond Coating
Chen Jing,Wang xiaoping,Li yunjun,Yao Ning,Ma Huizhong,Zhang Binglin.Influence of Mo Ion-implantation on Surface of Cemented Carbide on Formation of CVD Diamond Coating[J].Materials Review,2000,14(5):57-59.
Authors:Chen Jing  Wang xiaoping  Li yunjun  Yao Ning  Ma Huizhong  Zhang Binglin
Abstract:In tihs paper we present a new pretreatment method of Mo ion-implantation to improve the adhesion of the diamond coating. A more fined layer has been formed on the surface of WC-Co.and the size of diamond grains has become smaller. Good morphology and adhesion of diamond coating have been obtained.
Keywords:Mo ion-implantaion  cemented carbide  CVD diamond film  adhesion  
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