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| 激光定位工件台激光稳频系统 | |
| 引用本文： | 王行育.激光定位工件台激光稳频系统[J].光电工程,1982(5). |
| 作者姓名： | 王行育 |
| 摘 要： | 一、问题的提出精密定位工件台 x、y 行程为100×100毫米,定位重复精度为0.04微米(2σ)。用激光波长作为计量基准。为满足上述精度,其频率稳定度至少应优于10~(-7),而国产激光管不加任何频率稳定措施时其频率稳定度只有10~(-5)至10~(-6)数量;而且输出光强随温度变化比较强烈。所以未加频率稳定器的激光,其波长不能作为如此精密测量之基准。因此频 |
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