| MgB2/Mo多层膜的制备与超导性质的研究 |
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| 引用本文： | 周章渝,肖寒,王松,张青竹,王代强,陈雨青,傅兴华.MgB2/Mo多层膜的制备与超导性质的研究[J].稀有金属材料与工程,2019,48(8):2711-2715. |
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| 作者姓名： | 周章渝 肖寒 王松 张青竹 王代强 陈雨青 傅兴华 |
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| 作者单位： | 贵阳学院电子与通信学院 贵州 贵阳 中国科学院微电子研究所 北京,贵州民族大学化学工程学院,贵州省微纳电子与软件技术重点实验室 贵州 贵阳,中科院微电子研究所,贵州民族大学,贵阳学院电子与通信学院 贵州 贵阳 中国科学院微电子研究所 北京,贵州省微纳电子与软件技术重点实验室 贵州 贵阳 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11564005)；贵州省科技厅联合基金(黔科合LH字[2015]7300号)；贵州省教育厅创新团队重大研究项目(黔教合KY字[2017]035)；贵州省教育厅重点支持学科项目(黔学位合字ZDXK[2016]21号)；贵州省教育厅高校科技创新团队(黔教合人才团队字[2013]18号) |
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| 摘 要： | 本文采用磁控溅射技术(MS)和混合物理化学气相沉积法(HPCVD)在单晶Al2O3基底上制备MgB2/Mo多层膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和标准四线法对样品的表面形貌、晶体结构和超导特性进行了测量研究。实验结果表明随着后续MgB2沉积温度的增加各膜层结晶程度进一步提高,晶粒尺寸不断增大,各自保持着良好的物质稳定性。在730℃温度下生长的MgB2薄膜的超导转变温度Tcon和零电阻温度Tc0分别为39.73K~39.53K,剩余电阻率~0.77μΩcm,表明样品处于干净极限。
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| 关 键 词： | 混合物理化学气相沉积法 磁控溅射技术 MgB2/Mo多层膜 |
| 收稿时间： | 2018/3/19 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2018/3/28 0:00:00 |
The Fabrication and Superconducting Property of MgB2/Mo Multilayer Films |
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| Zhou Zhang yu,Xiao Han,Wang Song,Zhang Qing Zhu,Wang Dai Qiang,Chen Yu Qing and Fu Xing hua.The Fabrication and Superconducting Property of MgB2/Mo Multilayer Films[J].Rare Metal Materials and Engineering,2019,48(8):2711-2715. |
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| Authors: | Zhou Zhang yu Xiao Han Wang Song Zhang Qing Zhu Wang Dai Qiang Chen Yu Qing and Fu Xing hua |
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| Affiliation: | School of Electronic Communication Engineering,Guiyang University,,,Key Laboratory of Micro Nano Technology of Guizhou Province,,School of Electronic Communication Engineering,Guiyang University, |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hybrid physics-chemistry vapor deposited (HPCVD) magnetron sputtering (MS) MgB2/Mo multilayer films |
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