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| 玻璃无脂阀门 | |
| 引用本文： | 陈建中,张晓萍.玻璃无脂阀门[J].真空,1984(1). |
| 作者姓名： | 陈建中 张晓萍 |
| 作者单位： | 上海电真空器件研究所 (陈建中)，上海电真空器件研究所(张晓萍) |
| 摘 要： | 在玻璃系统中广泛地使用玻璃油脂阀门，但它存在着漏率大，油蒸汽污染被抽器件，室温对使用性能影响较大等缺陷。作者讨论了现有几种玻璃无脂阀门之后，对隔膜式下班无脂阀门的结构、密封性能等作了较详细的介绍，并给出了几种带无脂阀门的典型玻璃排气和充气系统。供电真空和电光源器件使用 |
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