| 有效实施混合集成电路工序检验 |
| |
| 引用本文： | 陈容,杨亮亮,吴秋菊,石静,赵淑霞.有效实施混合集成电路工序检验[J].测试技术学报,2019,33(4):356-360. |
| |
| 作者姓名： | 陈容 杨亮亮 吴秋菊 石静 赵淑霞 |
| |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二十四研究所,重庆,404100;中北大学 信息与通信工程学院,山西 太原,030051 |
| |
| 摘 要： | 为避免混合集成电路在生产过程中工序检验的漏检,造成不合格品的无法及时剔除、成本的浪费、效率和可靠性降低,本文从混合集成电路工序检验的内容及作用出发,结合军工企业在混合集成电路工序检验方面的现状和面临的问题,提出了解决办法.①提高镜检人员检验能力;②借助先进成像技术降低镜检难度;③使用自动光学检测设备提升镜检效率并降低漏检率.通过3种方法,有效反馈不合格品数据到各工序,各工序进行有针对性的改进.最终,从生产线在线不合格品数据统计和生产数据统计可以看出,不仅提升了镜检效率,同时通过不合格品数据的及时、有效反馈,生产线各类典型缺陷得到明显下降.
|
| 关 键 词： | 混合集成电路 镜检 不合格品 先进成像技术 自动光学检测 |
Effective Implementation of Hybrid Integrated Circuit Procedure Inspection |
| |
| CHEN Rong,YANG Liangliang,WU Qiuju,SHI Jing,ZHAO Shuxia.Effective Implementation of Hybrid Integrated Circuit Procedure Inspection[J].Journal of Test and Measurement Techol,2019,33(4):356-360. |
| |
| Authors: | CHEN Rong YANG Liangliang WU Qiuju SHI Jing ZHAO Shuxia |
| |
| Affiliation: | (China Electronic Technology Group Corporation Twenty-fourth Research Institute,Chongqing 404100,China;School of Information and Communication Engineering,North University of China,Taiyuan 030051,China) |
| |
| Abstract: | CHEN Rong;YANG Liangliang;WU Qiuju;SHI Jing;ZHAO Shuxia(China Electronic Technology Group Corporation Twenty-fourth Research Institute,Chongqing 404100,China;School of Information and Communication Engineering,North University of China,Taiyuan 030051,China) |
| |
| Keywords: | hybrid integrated circuit visual inspection non-conformity advanced imaging technology automatic optical inspection |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
