| 压电微泵的特性测试与分析 |
| |
| 引用本文： | 韩熠,毛明健,李廷华,陈李,吴俊,朱东来,徐溢.压电微泵的特性测试与分析[J].电子器件,2019,42(1):37-40. |
| |
| 作者姓名： | 韩熠 毛明健 李廷华 陈李 吴俊 朱东来 徐溢 |
| |
| 作者单位： | 云南中烟工业有限责任公司技术中心,昆明,650231;重庆大学新型微纳器件与系统重点学科实验室,重庆400030;光电技术及系统教育部重点实验室,重庆400030 |
| |
| 基金项目： | 新型烟草产品开发前沿技术研究及应用项目(2017XY01)、中央高校基本科研项目(106112017CDJPT120002) |
| |
| 摘 要： | 本文对压电驱动微泵的工作特性进行了系统测试,利用高压方波信号源产生频率和电压可调的信号来驱动微泵,采用高精度电子秤测量固定时间(10 s)内微泵输送液体的质量大小;并对工作特性进行相关分析,总结了压电微泵的输送流量随液体黏度、驱动电压和驱动频率之间的关系。结果表明,在相同的驱动条件下,液体黏度越大,压电微泵输送的流量越小;在固定的驱动电压下,当驱动频率为泵膜的谐振频率时压电微泵输送的流量最大,高于或低于驱动频率时输送的流量越来越小;在固定的驱动频率下(谐振频率),压电微泵输送的流量随驱动电压的升高而增加。研究结果为压电微泵的优化设计和实际应用提供了依据。
|
| 关 键 词： | 微机电系统 微泵 流量测试 压电 黏度 有阀 |
The Characteristic Testing and Analysis of Piezoelectric Micropump |
| |
| HAN Yi,MAO Mingjian,LI Tinghua,CHEN Li,WU Jun,ZHU Donglai,XU Yi.The Characteristic Testing and Analysis of Piezoelectric Micropump[J].Journal of Electron Devices,2019,42(1):37-40. |
| |
| Authors: | HAN Yi MAO Mingjian LI Tinghua CHEN Li WU Jun ZHU Donglai XU Yi |
| |
| Affiliation: | (Research and Development Center,China Tobacco Yunnan Industrial Co.,Ltd.,Kunming 650231,China;Defense Key Disciplines Lab of Novel Micro-Nano Devices and System Technology,Chongqing University,Chongqing 400030,China;Key Laboratory of Optoelectronic Technology and Systems of the Education Ministry,Chongqing University,Chongqing 400030,China) |
| |
| Abstract: | HAN Yi;MAO Mingjian;LI Tinghua;CHEN Li;WU Jun;ZHU Donglai;XU Yi(Research and Development Center,China Tobacco Yunnan Industrial Co.,Ltd.,Kunming 650231,China;Defense Key Disciplines Lab of Novel Micro-Nano Devices and System Technology,Chongqing University,Chongqing 400030,China;Key Laboratory of Optoelectronic Technology and Systems of the Education Ministry,Chongqing University,Chongqing 400030,China) |
| |
| Keywords: | MEMS micropump flux test piezoelectric viscosity valvate |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《电子器件》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《电子器件》下载全文 |
|
