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| 两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究 | |
| 引用本文： | 高金海.两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究[J].电子器件,2020,43(4). |
| 作者姓名： | 高金海 |
| 作者单位： | 郑州师范学院 |
| 基金项目： | 教育部科学技术重点项目(205091)、2018年河南省科技厅科技攻关项目(182102210140)、2018年河南省重点研发与推广专项项目(182102210564)、2017年度河南省科技计划项目(172102210115) |
| 摘 要： | 对相同的衬底进行不同的处理后，放入微薄等离子体腔中，在不同的条件下制备出纯平金刚石碳膜和球状金刚石聚晶颗粒碳膜，通过扫描电镜、拉曼光谱、Ｘ射线分析碳膜的形貌与结构，利用场发射二级结构研究两种金刚石碳膜的场发射性能，简单分析了不同碳膜的成因和场发射性能。 |
| 关 键 词： | 微波等离子体化学气相沉积、场致电子发射、纯平金刚石碳膜、球状金刚石聚晶颗粒碳膜 |
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