| 几种用于i-线光致抗蚀剂的光产酸剂性能研究 |
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| 引用本文： | 徐娜,王艳,陈哲. 几种用于i-线光致抗蚀剂的光产酸剂性能研究[J]. 吉林化工学院学报, 2013, 0(9): 34-38 |
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| 作者姓名： | 徐娜 王艳 陈哲 |
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| 作者单位： | 吉林化工学院材料科学与工程学院;阜康热电有限责任公司 |
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| 摘 要： | 2,1,4-重氮萘醌磺酸酯类化合物(2,1,4-DNQ),在光照下除了发生传统的重氮萘醌磺酸酯的光解,还可以产生磺酸导致聚合物发生酸解,因而可用作光产酸剂.本文制备了5种2,1,4-重氮萘醌磺酸酯,具有较好的热稳定性,分解温度均在130℃以上;其中有两种2,1,4-重氮萘醌磺酸酯(PAG-1和PAG-5)的溶解性良好,可溶于光致抗蚀剂体系所用的常用溶剂,且二者的光解效率较高,可用作i-线光致抗蚀剂的产酸剂使用.
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| 关 键 词： | i-线光致抗蚀剂 光产酸剂 2,1,4-DNQ |
Study on several photoacid generators for i-line photoresists |
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| Affiliation: | XU Na;WANG Yan;CHENG Zhe;College of Materials Science and Engineering,Jilin Institute of Chemical Technology;Fukang ther moeletric limited liability Company; |
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