| 小型高精度软X射线-极紫外反射率计 |
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| 引用本文： | 尼启良,刘世界,陈波. 小型高精度软X射线-极紫外反射率计[J]. 光学精密工程, 2008, 16(10) |
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| 作者姓名： | 尼启良 刘世界 陈波 |
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| 作者单位： | 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 吉林 长春 130033 |
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| 摘 要： | 针对探月二期工程中的有效载荷之一极紫外相机中的多层膜光学元件反射率测量的需要，搭建了一台使用液体靶激光等离子体光源的小型软X射线一极紫外波段反射率计。该反射率计主要由激光等离子体光源、Mcpherson247动狭缝掠入射单色仪及相关的数据采集系统组成。单色仪工作波段为1～125nm，光谱分辨率〈0．08nm。无碎屑的液体靶激光等离子体光源的使用避免了光学元件的损坏，而动狭缝掠入射单色仪的使用则提高了光谱分辨率和波段范围。使用该反射率计实测了工作波长为13．5nm和30．4nm的Mo／Si多层膜的反射率，测量结果表明测量重复性优于±0．5％，实现了对多层膜反射率的高精度测量。
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| 关 键 词： | 软X射线-极紫外反射率计 多层膜 液体靶激光等离子体光源 |
Compact high-precision soft X-ray and extreme ultraviolet reflectometer |
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| NI Qi-liang,LIU Shi-jie,CHEN Bo. Compact high-precision soft X-ray and extreme ultraviolet reflectometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2008, 16(10) |
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| Authors: | NI Qi-liang LIU Shi-jie CHEN Bo |
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