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一种基于MEMS的同位素微电池的新型结构设计与仿真
引用本文:孙磊,苑伟政,乔大勇,秦冲. 一种基于MEMS的同位素微电池的新型结构设计与仿真[J]. 传感技术学报, 2006, 19(4): 997-1000
作者姓名:孙磊  苑伟政  乔大勇  秦冲
作者单位:西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072;西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072;西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072;西北工业大学微/纳米系统实验室,西安,710072
摘    要:针对传统同位素微电池的倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构表面积较小和工作状态不稳定的缺陷.设计了一种垂直侧壁方孔阵列型的能量转换结构,增大了其表面积;并引入电镀这一新型的接触方式,改善了同类传统微电池的工作稳定性.建立了同位素微电池的电流计算公式.基于这种新结构对电池性能仿真得到了能量转换结构的最佳掺杂浓度,结果表明该结构与传统的能量转换结构相比,具有较低的掺杂浓度,较高的开路电压,输出电流和输出功率.

关 键 词:MEMS  同位素63Ni微电池  垂直侧壁方孔阵列  源活度
文章编号:1004-1699(2006)04-0997-04
收稿时间:2005-11-07
修稿时间:2005-11-07

Design and Simulation of a Novel Radioisotope Micro Battery Based on MEMS
Sun Lei,Yuan Wei-zheng,Qiao Da-yong,Qin Chong. Design and Simulation of a Novel Radioisotope Micro Battery Based on MEMS[J]. Journal of Transduction Technology, 2006, 19(4): 997-1000
Authors:Sun Lei  Yuan Wei-zheng  Qiao Da-yong  Qin Chong
Abstract:A new direct conversion device of vertical wall array for Radioisotope Micro Battery (RMB) is designed to enlarge the surface area. A novel electro plating section is introduced also to enhance the working reliability. Equations of current for RMB are founded. The performance simulation is utilized to the optimal doping concentrations. The results demonstrate that this direct conversion device has lower doping concentration, better performance than traditional channels array and inverted pyramid array devices.
Keywords:MEMS
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