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| 梯度过渡涂层的制备 | |
| 作者姓名： | 李戈扬 王岱峰 |
| 作者单位： | 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室，中国工程物理研究院 |
| 基金项目： | 中国工程物理研究院基金 |
| 摘 要： | 本文采用多靶磁控溅射技术制备ＴｉＣ／Ａｌ界面梯度过渡层，过渡层由ＴｉＣ和Ａｌ的成分梯度变化组成，其成分由Ａｌ基体侧平缓过渡到ＴｉＣ涂层侧。梯度过渡层的成分变化经ＡＥＳ测定，并和光学金相显微镜观察了涂层形貌。实验结果表明，当梯度层厚主于某临界值后，由内应力所致的表层ＴｉＣ裂纹消除。 |
| 关 键 词： | 磁控溅射 梯度涂层 内应力 涂层 |
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